大型臭氧發生器在產生臭氧的時候，會產生熱量，讓機器內部的溫度升高。而較高的溫度會把臭氧分解，會讓臭氧還原成氧氣，并降低臭氧的發生量。所以在生成臭氧的時候，一定要對發生器進行冷卻，這樣才可以穩定并提高臭氧的發生量。

  臭氧發生器的冷卻方式有風冷、水冷兩種。工業臭氧發生器多為中大型的臭氧發生器，一般是用水冷方式進行冷卻。在設計跟使用發生器的時候，一定遵循相關的規則，這樣才會獲得高產量的臭氧，才可以確保發生器的正常運行。

  主要包括以下幾個方面：

  1、大型臭氧發生器內的氣體中不能含烴類、腐蝕性氣體跟任何其他會在氧／臭氧／電暈環境內發生反應的物質，這些物質都會對臭氧發生器產生損害，而且還可能會引發爆炸等安全事故。

  2、在設計水冷式大型臭氧發生器的時候，要避免大量的水進入到發生器內部。要是水封供氣壓縮機用的浮閥或是空氣干燥器上的凝結水閥阻塞卡住，那水就會進入臭氧發生器的電暈室內，從而造成電暈集中、高電流密度跟局部電介體發熱，導致介電體過早失效。

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